摘要
超微驱动与控制技术作为超精密制造领域的关键基础技术，对现代制造业向更高精度、更高效率的方向发展具有重要意义。
虚拟仪器技术凭借其灵活、开放、可重构等优势，为超微驱动与控制系统的设计和实现提供了新的思路和方法。
本文首先阐述了超微驱动与控制技术和虚拟仪器技术的概念及内涵，并分析了二者结合的背景和意义。
其次，回顾了国内外超微驱动与控制技术、虚拟仪器技术以及面向超微驱动的虚拟仪器测控平台的研究现状，并对相关文献进行了综述。
在此基础上，对现有的超微驱动与控制平台的架构、功能、性能等方面进行了分析和比较，指出了现有研究中存在的问题和不足。
最后，对面向超微驱动与控制的虚拟仪器测控平台的未来发展趋势进行了展望。
关键词：超微驱动；超精密控制；虚拟仪器；测控平台；文献综述
#1.1超微驱动与控制技术超微驱动技术是指能够实现纳米甚至亚纳米级别的精密位移控制的技术，其核心在于驱动元件、传感器以及控制算法的精密配合。
常用的超微驱动元件包括压电陶瓷驱动器、超声电机、音圈电机等，这些元件具有响应速度快、定位精度高、运动分辨率高等优点，但也存在着非线性、迟滞、蠕变等问题，为控制系统的设计带来了挑战。
超微控制技术则是指针对超微驱动系统进行高精度、高稳定性的控制的技术，其目标是克服超微驱动元件的非线性特性，实现对目标轨迹的精确跟踪和定位。
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